光学镀膜
光学镀膜由薄膜层组合制作而成,它产生干扰效应来提高光学系统内的透射率或反射性能。光学镀膜的性能取决于层数、个别层的厚度和不同的层接口折射率。
用于精密光学的最常见镀膜类型:增透膜(AR)、高反射(镜)膜、分光镜膜和过滤光片膜。
●增透膜包括在高折射率的光学中并用于最大化光通量和降低鬼影。
●高反射膜的设计可在单个波长或范围广泛的整个波长以最大程度反射。
●分光镜膜用于将入射光分为已知的透射光和反射光输出。
滤光片应用于大量的工业应用中,并以特定波长用于透射、反射、吸收或衰减光。
还可以提供各种定制镀膜满足任何应用程序需要。
Sample Three Layer BBAR Coating Design
图1: 三层宽带增透膜设计样品
光学镀膜经过精心设计用于特定的入射光角和特定的偏振光,例如S偏振光、P偏振光或随机偏振光等。如果镀膜设计的入射光角为0°,但使用时的入射光角为45°,则镀膜将不会以规定的透射率/反射规格执行。同样地,镀膜一般设计用于随机偏振光,因此在设计用于随机偏振光的镀膜上使用S偏振光或P偏振光将会再次产生无效的规格。
光学镀膜是由沉积电介质和金属材料制作而成,例如薄层中的Ta2O5和/或Al2O3,在应用中使用的光波长通常是四分之一波长光学厚度(QWOT)或半波光学厚度(HWOT)。这些薄膜由高折射率和低折射率层交替而成,从而诱发需要的干扰效应。请参阅图1有关宽带增透膜设计的样品说明。
镀膜理论
镀膜控制穿过光学干涉机制的反射光和透射光。当两个光束沿着同步路径传输及其相位匹配时,波峰值的空间位置也匹配并将结合创建较大的总振幅。当光束为反相位(180°位移)时,其叠加会导致在所有峰值的消减效应,导致结合的振幅降低。这些效应被分别称为建设性和破坏性的干涉。
下列方程式1 - 4所示说明多层薄膜结构总反射率的关系。
光的波长和入射角通常是指定的,折射率和层厚度则可以有所不同以优化性能。
上述的任何更改将会影响镀膜内光线的路径长度,并将在光透射时改变相位值。这种效应可简单地通过单层增透膜例子说明。
当光传输穿过系统时,在镀膜任一侧的两个接口指数更改处将出现反射。为了尽量减少反射,我们希望它们在第一个接口重组时,这两个反射部分具有180°的相位移。这个相位差异直接对应于aλ/2位移的正弦波,它可通过将层的光学厚度设置为λ/4获得最佳实现。请参阅说明此概念的图2。
图2: 180° 两个反射光束之间180°相位移
折射率不仅影响光路长度(以及相位),也影响每个界面的反射特性。反射率通过菲涅尔公式(方程式5)定义,其反射率与界面两边材料的折射率之差息息相关。
必须考虑到的最后一个参数是膜层的入射角。如果入射角改变,每一层的内角及光学路径长度都会受到影响,并会影响反射光束内的相位变化量。
使用非一般入射时,S偏振光和P偏振光将从每个界面互相反射,这将导致两个偏振光具有不同的光学性能。偏振分光计就是基于这一原理设计的。